量測環(huán)節(jié)是集成電路制造工藝中不可缺少的組成部分欧蠢，貫穿于集成電路領(lǐng)域生產(chǎn)過程荐吉。量測設備能在生產(chǎn)中監(jiān)測钠龙、識別、定位沛膳、分析工藝缺陷扔枫，對晶圓廠及時發(fā)現(xiàn)問題、改善工藝锹安、提高良率短荐，起到至關(guān)重要的作用。隨著集成電路繼續(xù)多層化叹哭、復雜化忍宋，量測設備的重要性日趨凸顯。

依據(jù)最新預估恒欣，中國大陸量測設備市場規(guī)模31.1億美元移良，國產(chǎn)化率只有2%。海外不斷施加限制措施髓界，量測設備已成為光刻機之外威脅較大的短板辰稽。面對威脅，國內(nèi)晶圓廠積極引入國產(chǎn)量測設備進行工藝驗證咪犹，有望推動國內(nèi)量測產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展爷瓜。受益于國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈的快速發(fā)展和產(chǎn)業(yè)鏈安全關(guān)注的提升，半導體量測設備國內(nèi)廠商國產(chǎn)化市場空間有望擴容遭屑，中科飛測享偎、上海睿勵、上海精測贴袖、東方晶源等量測設備公司正逐步打破海外廠商壟斷漏匹，乘國產(chǎn)替代之風而起。

量測環(huán)節(jié)在集成電路制造中的影響有多大？流程是怎樣的硫朦？量測設備種類都有哪些贷腕？行業(yè)壁壘及技術(shù)路線有哪些？未來技術(shù)路線提升方向都有什么阵幸？未來市場空間有多大花履？目前的競爭格局是怎樣的？相關(guān)公司都有哪些挚赊？帶著這些問題，下面我們來一起探討济瓢。

01

半導體量測設備概述

1.量測設備簡述

芯片的完整生產(chǎn)流程包括前道晶圓制造和后道封裝測試荠割。在晶圓制造中使用的設備為前道設備；封裝測試中使用的設備為后道設備旺矾。晶圓制造借助半導體前道設備及EDA等工業(yè)軟件系統(tǒng)蔑鹦，以硅片、電子化學品箕宙、靶材嚎朽、氣體等為原材料，將設計的電路圖轉(zhuǎn)移到晶圓上柬帕。晶圓的制造過程包括光刻哟忍、刻蝕、薄膜沉積秃囚、清洗融确、熱處理、離子注入测佣、化學機械拋光醒横、量測等多個工藝步驟。由于集成電路一般由多層結(jié)構(gòu)組成忽件，故在單個晶圓的生產(chǎn)中禁舌，需多次重復以上步驟，層層成形并最終構(gòu)成完整的集成電路結(jié)構(gòu)涌俘。量測指對被觀測的晶圓電路上的結(jié)構(gòu)尺寸和材料特性做出的量化描述权煎，如薄膜厚度、關(guān)鍵尺寸跃唧、刻蝕深度茴怀、表面形貌等物理性參數(shù)的量測。量測設備不直接參與對晶圓的光刻令怎、刻蝕等工藝處理找筝，但每個重要的工藝步驟后，量測設備會對晶圓進行檢測，以驗證并改善工藝的質(zhì)量袖裕，并剔除不合格率過高的晶圓曹抬。

2.量測環(huán)節(jié)必要性

量測環(huán)節(jié)對保證芯片良品率至關(guān)重要。高難度的工藝步驟增大了工藝缺陷的概率急鳄，工藝節(jié)點每推進一代谤民，工藝中產(chǎn)生的致命缺陷數(shù)量會增加50%。疾宏；漫長的生產(chǎn)時間张足，增大了晶圓被損壞、污染的可能性坎藐。而晶圓生產(chǎn)近千道的工藝步驟數(shù)量为牍，對芯片的最終良率帶來較大壓力。隨著集成電路制程繼續(xù)朝高端推進岩馍，晶圓生產(chǎn)對工藝良率控制提出了更高的要求碉咆。量測設備能在晶圓生產(chǎn)中監(jiān)測、識別浇沧、定位盆篡、分析工藝缺陷，幫助晶圓制造企業(yè)及時發(fā)現(xiàn)問題坏扣、改善工藝春异、提高良率。高端集成電路生產(chǎn)對于量測設備的依賴將加深伶摩，量測設備的市場規(guī)模有望持續(xù)擴大雕踊。

3.量測流程

在量測與測試步驟結(jié)束后，晶圓上的良率統(tǒng)計結(jié)果會以晶圓分布圖的方式反饋給工藝人員昂幕。合格與不合格的芯片在晶圓上的位置挺候，會通過工業(yè)軟件錄入到計算機系統(tǒng)中，以晶圓圖的形式記錄下來庶化。較早的技術(shù)會在不良芯片的表面上涂上墨點（Inking）即钞；晶圓移送到封裝廠后，就不會去封裝這些帶墨點的芯片迹姆，從而節(jié)省大量的人力物力成本部爱。此外，部分芯片會被判定為不合格岭埠，但是可以修復盏混；這些芯片經(jīng)過專用的激光修復機處理后，會重新進入測試流程惜论。

4.量測設備種類

量測設備可分為尺寸測量設備(Metrology)许赃、缺陷檢測設備(Defect Inspection)兩大類，兩類設備均廣泛運用于晶圓生產(chǎn)流程中。測量設備對單步工藝（或若干次相似工藝）處理的晶圓進行測量混聊，確保關(guān)鍵工藝參數(shù)（厚度弹谁、線寬、成分等）符合集成電路的工藝指標句喜。測量設備主要包括膜厚測量预愤、關(guān)鍵尺寸測量、套刻測量等咳胃。缺陷檢測設備對晶圓表面的電路結(jié)構(gòu)進行掃描植康，發(fā)現(xiàn)并定位異常的電路圖形，主要包括有圖形檢測拙绊、無圖形檢測向图、電子束檢測三大類。

02

行業(yè)壁壘及技術(shù)路線

1.行業(yè)壁壘

量測設備需要光學哟俩、電子學、移動平臺鹤鲤、傳感器褐琼、數(shù)據(jù)計算軟件等多個系統(tǒng)密切配合，每個設備廠商針對上述系統(tǒng)都有獨特設計和大量的獨家knowhow枷辫，行業(yè)壁壘較高涤瘸。此外，制程升級也帶來了新的難點笔房。等同樣大小的缺陷在成熟制程中是非致命的延砾，在先進制程中卻極有可能是導致電路失效的致命性缺陷。因此量測設備需要更高的靈敏度学虑，更快速段辈、更精確的測量能力。超薄膜(厚度小于10埃)欲炉、極高深寬比憾宅、非破壞性的圖形等結(jié)構(gòu)的測量，也提出了新的要求愧捕。量測設備的主要技術(shù)難點包括分辨率奢驯、軟件算法、產(chǎn)能等次绘。

2.技術(shù)路線

從技術(shù)路線原理上看瘪阁，檢測和量測主要包括光學檢測技術(shù)、電子束檢測技術(shù)和X光量測技術(shù)邮偎，其中光學檢測技術(shù)空間占比較大管跺。根據(jù)VLSI Research和QY Research的報告，2020年全球半導體檢測和量測設備市場中，應用光學檢測技術(shù)伙菜、電子束檢測技術(shù)及X光量測技術(shù)的設備市場份額占比分別為75.2%轩缤、18.7%及2.2%，可以看出應用光學檢測技術(shù)的設備在占比方面具有領(lǐng)先優(yōu)勢贩绕。

3.未來技術(shù)提升方向

（1）光學檢測技術(shù)分辨率提高

隨著光刻技術(shù)的不斷發(fā)展火的，集成電路構(gòu)造不斷縮小，對檢測技術(shù)的分辨精度也提出了更高要求淑倾。目前較先進的量測設備已使用DUV波段光源馏鹤，能夠檢測小于14納米的缺陷，并實現(xiàn)0.003納米的膜厚測量绸廉；展望未來牵蠢，量測設備會更多使用波長更短的VUV、EUV光源來捕捉更小的缺陷姨痊。此外仓疯，光源光譜范圍的拓寬和光學系統(tǒng)數(shù)值孔徑的提升以提高光學分辨率，也是重要突破方向购狈。

（2）大數(shù)據(jù)檢測算法和軟件重要性凸顯

量測設備已不單純依賴圖像解析來捕捉缺陷魂欺，而是結(jié)合了圖像信號處理軟件和算法，在信噪比圖像中尋找異常信號杂猾。量測算法的專業(yè)性強虏绑、難度大，需要較長時間的工藝經(jīng)驗積累签子，開發(fā)周期長就壳。量測設備企業(yè)均在自家產(chǎn)品上研發(fā)算法和軟件，算法不對外單獨出售缺西。隨著量測設備收集的數(shù)據(jù)量繼續(xù)增長涤伐，未來對量測設備算法軟件的要求會越來越高。

（3）設備檢測速度和吞吐量的提升

量測設備的產(chǎn)能關(guān)系到晶圓生產(chǎn)的效率和經(jīng)濟效益荆永。量測設備的產(chǎn)能提升废亭，將有效降低每片晶圓的檢測成本，從而在提高良品率的同時具钥，更好地控制晶圓廠的生產(chǎn)成本豆村。

03

市場空間

1.半導體檢測與量測設備市場空間廣闊

受益于半導體行業(yè)紅利，全球半導體設備整體市場持續(xù)增長骂删。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)掌动，2020年全球半導體設備市場規(guī)模為712億美元，2021年為1026億美元宁玫，同比增長44.10%粗恢，SEMI預測2022年將增長至1175億美元柑晒，2023年將持續(xù)擴張到1208億美元。

中國半導體設備市場快速增長眷射，設備進口額占比仍較大匙赞。2016-2021年中國大陸半導體設備市場規(guī)模復合增速為35.6%，設備進口額復合增速為29.8%只逐。2021年中國半導體設備市場為296億美元季距，同比增速為58.12%，第二次成為全球半導體設備的最大市場荞亩。其中進口占比呈降低趨勢蒿蛆，但仍然過半，國內(nèi)半導體生產(chǎn)所用設備對進口依賴較大驾腕。

前道量測設備對保證晶圓良率至關(guān)重要毙纫，全球檢測和量測設備市場預計于2022年達92億美元。根據(jù)VLSI Research的統(tǒng)計陷今，2016年至2020年全球半導體檢測與量測設備市場規(guī)模的年均復合增長率為12.6%港排，預計2022年全球半導體檢測與量測設備市場規(guī)模將超90億美元。

細分設備市場：檢測設備占比62.6%吻毅，量測設備占比33.5%摇龟。2020年全球前道量測設備銷售總額為76.5億美元，其中檢測設備占比為62.6%吟沮，量測設備占比為33.5%。根據(jù)產(chǎn)品類型专肪，檢測設備可細分為無圖形晶圓缺陷檢測設備刹勃、圖形晶圓缺陷檢測設備、掩膜檢測設備等嚎尤；量測設備可細分為三維形貌量測設備荔仁、薄膜膜厚量測設備（晶圓介質(zhì)薄膜量測設備）、套刻精度量測設備芽死、關(guān)鍵尺寸量測設備乏梁、掩膜量測設備等。其中納米圖形晶圓缺陷檢測設備投資額最高关贵，占量測市場近四分之一的比重遇骑。

國內(nèi)檢測與量測設備市場規(guī)模突破21億美元，增速顯著高于全球揖曾。2016年至今落萎，國內(nèi)半導體設備和檢測與量測設備市場快速發(fā)展，VLSI Research數(shù)據(jù)顯示炭剪，中國大陸2020年市場規(guī)模超過21億美元练链，五年CAGR為31.6%翔脱，再次成為全球最大的檢測與量測設備市場。

2.晶圓廠擴產(chǎn)+技術(shù)迭代推動前道量測設備市場增長

（1）IC制造國產(chǎn)化率低颖倾，國內(nèi)晶圓廠將持續(xù)擴產(chǎn)

半導體下游推動晶圓市值突破新高匀铸，催生晶圓廠擴建意愿。新能源汽車才褂、數(shù)據(jù)中心等半導體下游需求推動晶圓需求不斷增長讥认，成熟制程供不應求，晶圓市值上漲绪樊。據(jù)IC insights估計傲轮，2022年全球晶圓市值有望達1321億美元。受益于晶圓廠擴張擴產(chǎn)藐篡，前道量測設備市場空間廣闊百膳。量測與檢測設備作為重要的前道設備之一，市場需求空間大辑剿。

（2）摩爾定律尚未完結(jié)冀态，工藝迭代推動設備技術(shù)提升

工藝制程節(jié)點縮小，要求光學檢測技術(shù)分辨率不斷提高坚浩。主流半導體制程正從28nm赋遇、14nm向10nm、7nm發(fā)展绵估，部分先進應用領(lǐng)域的處理器工藝制程已經(jīng)邁向新節(jié)點炎疆，達到了市場上最先進的5-7nm級別。根據(jù)YOLE的統(tǒng)計国裳，工藝節(jié)點每縮減一代形入，工藝中產(chǎn)生的致命缺陷數(shù)量會增加50%，因此每一道工序的良品率都要保持在非常高的水平才能保證最終的良品率缝左。為滿足更小關(guān)鍵尺寸的晶圓上的缺陷檢測亿遂，必須使用更短波長的光源，以及使用更大數(shù)值孔徑的光學系統(tǒng)渺杉，因此檢測和量測設備需不斷升級蛇数。

客戶降本增效的需求促進設備算法軟件、檢測速度與吞吐量的升級是越。為了控制成本耳舅，提升良率，先進的檢測和量測技術(shù)也不可或缺英妓。檢測的可靠性至關(guān)重要挽放，因為客戶需要保證合格的產(chǎn)品不被排除，同時又須確保捕獲所有缺陷呈篱。量測設備企業(yè)通常在自己的檢測和量測設備上自行研制開發(fā)算法和軟件质脐。隨著工藝節(jié)點縮小伐狼，未來對檢測和量測設備相關(guān)算法軟件的要求會越來越高。此外嗜谎，檢測速度和吞吐量更高的檢測和量測設備也可幫助下游客戶更好地控制企業(yè)成本岁十，降本增效。

04

競爭格局

1.全球半導體設備市場寡頭壟斷早知，美惦踩、日、歐領(lǐng)先

半導體設備屬于高壁壘和高投入行業(yè)南砰，廠商先發(fā)優(yōu)勢明顯敲骏。半導體設備是晶圓廠商資本開支的重要投向，晶圓廠約80%的投資用于購置上游設備涨拣，而設備廠商本身也需要投入大量資金用于研發(fā)適配客戶的產(chǎn)品和購買原材料及零部件蝇降。半導體行業(yè)客戶對設備的質(zhì)量、參數(shù)它褪、運行穩(wěn)定性等方面有較高要求饵骨，因此一經(jīng)認定便不會輕易更換設備供應商。

整體來看茫打，全球半導體設備市場處于寡頭壟斷的局面居触，市場集中度較高，美老赤、日歐技術(shù)相對領(lǐng)先轮洋，代表廠商包括應用材料、阿斯麥抬旺、拉姆研究砖瞧、東京電子、科磊半導體等嚷狞，也占據(jù)了全球半導體設備市場的主要份額。VLSI Research數(shù)據(jù)顯示荣堰，2020年全球前十大半導體設備廠商均為境外企業(yè)床未，市場份額合計高達76.6%。

國內(nèi)廠商起步較晚振坚，當前設備市場主要依賴進口薇搁。中國半導體設備行業(yè)整體國產(chǎn)化率的提升還處于起步階段，目前國內(nèi)半導體生產(chǎn)廠商所使用的半導體設備仍主要依賴進口秤淀。根據(jù)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會的統(tǒng)計挺皆，2021年半導體設備進口46,894臺，合計進口額170.5億美元世荐，同比分別增長84.3%和56.4%否因。

2.KLA一馬當先舆佩，美日包攬量測設備市場前五

當前全球半導體檢測與量測設備市場呈現(xiàn)相對集中的格局，份額前五被美國和日本廠商包攬榔晃，科磊半導體泌榕、應用材料、日立位居前三招殊，科磊以營收38.9億美元絕對優(yōu)勢占據(jù)50.8%的全球市場份額气岁。

2016年-2020年,中國大陸半導體檢測與量測設備市場規(guī)模呈現(xiàn)快速增長，并與2019年超越中國臺灣成為全球最大的半導體檢測與量測設備需求地秆候，2020年進一步將此比例提升至27.4%浦堪。2016-2020年，全球半導體檢測與量測設備市場CAGR為12.6%刺洒，而中國大陸的CAGR為31.6%鳖宾，遠高于全球。

國內(nèi)量測設備國產(chǎn)化率較低作媚，進口依賴度較高攘滩，科磊占據(jù)過半市場份額。VLSI Research數(shù)據(jù)顯示纸泡，國內(nèi)檢測與量測設備市場仍由海外幾家龍頭廠商占據(jù)主導地位漂问，其中科磊半導體在中國市場的占比仍然最高，2020年達54.8%女揭，近5年CAGR超過35.7%蚤假，遠高于其在全球13.2%的復合增速。

3.國內(nèi)廠商逐個突破吧兔，國產(chǎn)化率有望持續(xù)提升

受益于國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈的快速發(fā)展和產(chǎn)業(yè)鏈安全關(guān)注的提升磷仰，國內(nèi)廠商國產(chǎn)化市場空間有效擴容。VLSI Research數(shù)據(jù)顯示境蔼，2016-2020年中國大陸半導體檢測與量測設備市場規(guī)模的年均復合增長率為31.6%灶平，顯著高于全球半導體設備和檢測及量測設備市場增速。隨著我國半導體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)能擴張仍在繼續(xù)箍土，本土企業(yè)將受益于中國半導體行業(yè)的整體發(fā)展帆伯。

中科飛測、上海睿勵逸讹、上海精測代投、東方晶源等設備公司成為國內(nèi)檢測與量測公司的代表，部分產(chǎn)品運用于國產(chǎn)晶圓產(chǎn)線禾计。經(jīng)過多年潛心研究和技術(shù)經(jīng)驗積累灾您，我國檢測與量測設備行業(yè)實現(xiàn)較大突破，以中科飛測宇夭、上海睿勵烛辜、上海精測為代表的的國產(chǎn)廠商開始發(fā)力江伴，部分產(chǎn)品已經(jīng)在中芯國際、長江存儲衡达、長電科技往软、華天科技、通富微電等國內(nèi)主流集成電路制造產(chǎn)線郎抖，打破在質(zhì)量控制設備領(lǐng)域國際設備廠商對國內(nèi)市場的長期壟斷局面哟蝉。

國內(nèi)公司市場整體占比較小，現(xiàn)處于高速發(fā)展階段茫舶。中科飛測招股說明書披露械巡，2021年中科飛測、上海睿勵和上海精測三家國產(chǎn)檢測與量測公司合計營收5.13億元饶氏，相較于超過21億美元的國內(nèi)市場空間而言占比較小讥耗，粗略估算三家合計國內(nèi)市占率不足4%。從營收絕對值及增速來看疹启，國產(chǎn)廠商由于基數(shù)較小古程，同比增長迅速俱萍，2018-2020年中科飛測營收從0.3億元增至2.38億元囱稽，CAGR達到182.12%预第，遠高于行業(yè)速度奥猎。

國產(chǎn)工藝檢測廠商三季度中標34臺，國產(chǎn)化持續(xù)推進号呜。中國半導體檢測和量測設備市場處于寡頭壟斷格局硫眨，國外競爭對手占據(jù)市場競爭優(yōu)勢地位末融，本土企業(yè)市場占有率較低节仿。公集微網(wǎng)整理數(shù)據(jù)顯示晤锥，2022年三季度工藝檢測設備共招標152臺，中標207臺罩泰，國產(chǎn)廠商中標34臺鬼浮，占比16.4%。

05

相關(guān)公司

經(jīng)過長時間的技術(shù)研發(fā)與經(jīng)驗積累孝生，中國企業(yè)在膜厚測量煌摊、缺陷檢測、關(guān)鍵尺寸測量等領(lǐng)域取得了部分突破檐鹤。數(shù)家國內(nèi)企業(yè)脫穎而出，成功打入中芯國際酒吠、長江存儲等企業(yè)的量產(chǎn)產(chǎn)線冈彭。國內(nèi)企業(yè)在產(chǎn)品種類、工藝覆蓋唇佳、算法軟件骏点、制程支持贱钩、核心零部件等方面，相比海外巨頭還有較大差距谷芬。但隨著國內(nèi)晶圓廠積極引入國產(chǎn)設備驗證唉堪，國內(nèi)量測設備企業(yè)有望在技術(shù)上實現(xiàn)快速追趕，業(yè)績預期加速兌現(xiàn)肩民。

1.精測電子：全方位布局前道檢測設備

武漢精測電子集團股份有限公司創(chuàng)立于2006年4月唠亚，是一家致力于為半導體、顯示以及新能源等測試領(lǐng)域提供卓越產(chǎn)品和服務的高新技術(shù)企業(yè)持痰。公司產(chǎn)業(yè)布局日趨完善灶搜，在中國的武漢、蘇州工窍、上海割卖、香港、臺灣等地患雏，及美國鹏溯、日本等國擁有眾多子公司。公司于2018年進軍半導體設備領(lǐng)域淹仑，成立上海精測半導體技術(shù)有限公司丙挽、武漢精鴻電子技術(shù)有限公司，分別布局前道攻人、后道測試設備領(lǐng)域取试。

2022前三季度，公司半導體業(yè)務營收1.12億腋殃，同比增長43.7%馁掺。在產(chǎn)品方面，膜厚燕党、電子束均獲得批量訂單寻币。OCD測量設備通過關(guān)鍵客戶28nm工藝驗證，順利進入量產(chǎn)生產(chǎn)線并投入使用悉宿。公司半導體光學量測再發(fā)新品瓶虽，向國內(nèi)最大晶圓制造廠之一的華東大客戶交付光學形貌量測TG300IF設備。公司在前道量測領(lǐng)域布局最為全面涝睁，有望充分受益國產(chǎn)替代珍诡，未來在半導體領(lǐng)域?qū)⒂辛己冒l(fā)展。

2.睿勵科學儀器（中微公司）：國產(chǎn)量測設備領(lǐng)跑者

睿勵科學儀器（上海）有限公司是于2005年創(chuàng)建的合資公司（中微公司持股29.36%示祭，是上海睿勵儀器第一大股東）尼袁，目前公司擁有的主要產(chǎn)品包括光學薄膜測量設備、光學關(guān)鍵尺寸測量設備、缺陷檢測設備化焕。睿勵科學儀器是國內(nèi)少數(shù)進入國際先進制程12英寸生產(chǎn)線的量測設備企業(yè)之一萄窜，是國內(nèi)唯一進入三星存儲芯片生產(chǎn)線的量測設備企業(yè)。

隨著國內(nèi)對量測設備的重視程度不斷提高撒桨，睿勵科學儀器的融資規(guī)模不斷擴大查刻。目前，睿勵的膜厚測量凤类，缺陷檢測及光學關(guān)鍵尺寸測量設備已為國內(nèi)近20家前道半導體晶圓制造客戶所采用穗泵，截至2022年6月已完成多臺設備出貨，公司光學膜厚測量設備已應用在65/55/40/28納米芯片生產(chǎn)線踱蠢，并正在進行14nm工藝驗證火欧；設備支持64層3DNAND芯片的生產(chǎn)，并正在96層3DNAND芯片產(chǎn)線上進行工藝驗證茎截。

3.賽騰股份：半導體領(lǐng)域有力競爭者

賽騰股份成立于2001年苇侵，由3C自動化設備起家，后通過收購切入半導體量測設備賽道企锌，在2011年成為蘋果產(chǎn)業(yè)鏈的供應商后榆浓，公司發(fā)展速度逐步提高。2019年9月賽騰股份收購日本Optima株式會社67.53%股份其神。收購價款約合人民幣16395萬元殴衡，通過不斷增資，截至2021年公司持有Optima約74.10%股權(quán)垄窃。Optima公司主要產(chǎn)品有光學晶圓缺陷檢測設備（精度0.2μm）蟀腌，如晶圓邊緣檢測、晶圓正面/背面檢測吐莲、宏觀檢測抠偏、針孔檢測等。

Optima服務于一線大廠陪瘟，韓國鞋剔、日本、中國臺灣的客戶如sumco阐逗、三星池躁、memcKorea等。國內(nèi)包括新晟韵谋、中環(huán)褒选、奕斯偉、立昂微等客戶振诬。目前Optima已覆蓋國內(nèi)多家領(lǐng)先晶圓廠蹭睡，國內(nèi)市場是企業(yè)未來的主要發(fā)展方向答朋。

4.中科飛測：深耕半導體質(zhì)量控制設備

中科飛測在2014年12月，由嶺南晟業(yè)棠笑、中科院微電子所及蘇州翌流明共同出資設立。公司是一家國內(nèi)領(lǐng)先的高端半導體質(zhì)量控制設備公司禽绪，自成立以來始終專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發(fā)蓖救、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設備系列印屁、圖形晶圓缺陷檢測設備系列循捺、三維形貌量測設備系列、薄膜膜厚量測設備系列等產(chǎn)品雄人，已應用于國內(nèi)28nm及以上制程的集成電路制造產(chǎn)線从橘。

公司依托多年在光學檢測技術(shù)、大數(shù)據(jù)檢測算法和自動化控制軟件等領(lǐng)域的深耕積累和自主創(chuàng)新础钠，公司得以向集成電路前道制程恰力、先進封裝等企業(yè)以及相關(guān)設備、材料廠商提供關(guān)鍵質(zhì)量控制設備拓酵。公司產(chǎn)品已廣泛應用在中芯國際镰饶、長江存儲、士蘭集科乱树、長電科技烧骗、華天科技、通富微電等國內(nèi)主流集成電路制造產(chǎn)線吆揖，打破在質(zhì)量控制設備領(lǐng)域國際設備廠商對國內(nèi)市場的長期壟斷局面铜诽。公司2021年度實現(xiàn)營收3.59億元，其中檢測設備收入2.65億元绳瓣，占營收73.84%懂棘，同比增長8.18%。主營業(yè)務營收從2020年2.37億元增長至2021年3.59億元旷程，同比增長51.48%甩卷。

5.東方晶源：發(fā)力突破電子束設備

東方晶源微電子科技（北京）有限公司成立于2014年，總部位于北京亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)起衫，是一家專注于晶圓制造良率管理的公司劝薄。公司的產(chǎn)品有計算光刻軟件、電子束缺陷檢測設備栈妆、關(guān)鍵尺寸量測設備三種胁编。東方晶源于2022年10月購置價值2800萬元的北京土地，用于新建廠房鳞尔；并于2022年11月完成新一輪股權(quán)融資嬉橙，總?cè)谫Y額為10億早直。

東方晶源的國內(nèi)首臺電子束缺陷檢測設備出貨以來，公司持續(xù)對其進行升級優(yōu)化市框。設備開機率已由2021年6月的57%提升至2022年6月的月平均90.5%霞扬，最時期高達到98%。經(jīng)過三次重大改進枫振，晶圓產(chǎn)量較改進前提升250%~400%喻圃。2022年6月東方晶源研發(fā)的新一代產(chǎn)品SEpA-i515正式發(fā)貨，經(jīng)過優(yōu)化升級粪滤，使SEpA-i515具有更高的TPT和更優(yōu)的平臺設計斧拍，設備運行效率、性能指標均有大幅提升杖小。

東方晶源研發(fā)出國內(nèi)首12寸CD-SEM肆汹，打破了國際巨頭的長期壟斷。入駐國內(nèi)知名晶圓廠后零破，28nm制程產(chǎn)品的90nm以上關(guān)鍵尺寸已完成驗收衫半，更小線寬工藝驗證持續(xù)推進中，設備開機率也已超過90%子钾。2022年6月即贰，公司新一代型號為SEpA-c410的CE-SEM發(fā)貨。該設備服務于300mm硅片工藝制程团弧，通過先進的電子束成像系統(tǒng)和高速硅片傳輸方案疲籍，搭配精準的量測算法，可實現(xiàn)高重復精度幔瓮、高分辨率及高產(chǎn)能的關(guān)鍵尺寸量測谐浆。

6.上海優(yōu)睿譜：FTIR領(lǐng)域拓荒者

優(yōu)睿譜位于上海張江高科技園區(qū)，由長期從事半導體行業(yè)的海歸博士谅练、國內(nèi)優(yōu)秀的量測設備技術(shù)團隊共同發(fā)起成立姿记。公司團隊核心成員均長期深耕量測設備行業(yè),產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)資源積累豐厚。優(yōu)睿譜的主要產(chǎn)品為FTIR(傅立葉變換紅外光譜)透劈，首臺設備型號Eos200于2022年6月正式交付客戶梧却，是國內(nèi)首家實現(xiàn)FTIR設備交付的公司。此外败去，公司正在研制適用于12寸制程的Eos300系列產(chǎn)品放航。

FTIR是一款利用紅外光譜經(jīng)傅里葉變換進而分析各種外延層厚度以及元素濃度的測量設備，可用于測量一代半導體（硅外延片）圆裕、二代半導體（砷化鎵广鳍、磷化銦襯底外延）、三代半導體（碳化硅吓妆、氮化鎵外延片）赊时、分子束外延（MBE）等的外延層厚度吨铸、光刻膠厚度及CMP拋光后的厚度，以及測定半導體制程各種元素濃度祖秒。長期以來诞吱，半導體FTIR市場被Nanometrics、賽默飛等國際設備廠商所壟斷竭缝。Eos200設備采用模塊化等多種創(chuàng)新設計狐胎，降低了客戶的使用及維護成本。同時楣苇，優(yōu)睿譜通過整合供應鏈資源，有效縮短了該設備的交付周期忽浓。

7.上海御微：掩模版晶圓檢測同步發(fā)力

御微半導體生產(chǎn)出國內(nèi)首臺集成電路掩模版缺陷檢測設備绿凄，關(guān)鍵性能已經(jīng)達到國際領(lǐng)先水平，并獲取得全球半導體協(xié)會SEMIS2認證矮憔，通過全球頂尖集成電路制造商認可并獲得重復訂單蔓踩。此外，公司所生產(chǎn)的前道晶圓缺陷檢測產(chǎn)品遭绝，成功通過知名集成電路制造商認證紧慧。公司掌握整套尖端光學設備設計、集成及成像等核心技術(shù)零硫。研發(fā)項目團隊采用光刻機技術(shù)標準盯窜，應用于半導體量檢測，致力提高國產(chǎn)半導體量檢測設備的國際競爭力萄蕾。

8.埃芯半導體：X射線檢測領(lǐng)先者

深圳埃芯半導體成立于2020年10月领靖，公司產(chǎn)品涵蓋光學薄膜量測、光學關(guān)鍵尺寸量測以躯、X射線薄膜量測槐秧、X射線材料性能量測、X射線成分及表面污染量測等領(lǐng)域忧设。其中刁标，公司的X射線測量技術(shù)在國內(nèi)居于領(lǐng)先地位。公司在深圳擁有1000多平米的研發(fā)及生產(chǎn)廠房址晕，包括千級裝配調(diào)測潔凈間膀懈、百級和十級實驗室潔凈間。

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參考研報

1.德邦證券-電子行業(yè)：國產(chǎn)量測設備公司逐步取得突破

2.財通證券-量測設備行業(yè)報告：細致檢測攻堅克難斩箫，精準度量引領(lǐng)進步

3.東方證券-電子行業(yè)深度報告：前道檢測與量測設備進入放量前夜吏砂，頭部廠商確定性強

4.浙商證券-電子行業(yè)專題報告：半導體量測設備，集成電路良率控制關(guān)鍵乘客，國產(chǎn)化提速狐血！

5.光大證券-半導體量測設備行業(yè)跟蹤：量測設備空間大格局好淀歇，上海精測、中科飛測等國產(chǎn)品牌蓄勢待發(fā)

6.東吳證券-機械設備行業(yè)跟蹤周報：建議關(guān)注半導體量測設備國產(chǎn)化機遇匈织；看好逐步回暖的通用自動化板塊

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